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中文名稱 甲基三氯硅烷 
英文名稱 Methyltrichlorosilane 
CAS RN 75-79-6 
EINECS號 200-902-6 
分 子 式 CCl3Si 
分 子 量 146.4536 
物化性質 性狀 無色液體。 
沸點 66.4℃ 
凝固點 -77.8℃ 
相對密度 1.070 
折射率 1.4085 
閃點 -13.3℃