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中文名稱 甲基三氯硅烷 
英文名稱 Methyltrichlorosilane 
CAS RN 75-79-6 
EINECS號(hào) 200-902-6 
分 子 式 CCl3Si 
分 子 量 146.4536 
物化性質(zhì) 性狀 無(wú)色液體。 
沸點(diǎn) 66.4℃ 
凝固點(diǎn) -77.8℃ 
相對(duì)密度 1.070 
折射率 1.4085 
閃點(diǎn) -13.3℃